Coating equipment of vehicle mounted display screen 車(chē)載顯示屏鍍膜設(shè)備
旋轉(zhuǎn)陰極裝置與行內(nèi)普通平面靶裝置相比靶材使用周期與利用效率顯著提高;可客制化的基板工件架結(jié)構(gòu)定制,給客戶(hù)產(chǎn)品擺放達(dá)到最大的利用空間;全自動(dòng)一體的提拉升降的轉(zhuǎn)架裝置,大幅度減少機(jī)器開(kāi)關(guān)門(mén)時(shí)間,大大提高了生產(chǎn)效率與工藝穩(wěn)定性;匯成專(zhuān)利離子源具有工作范圍廣能量均衡,高離化率,超穩(wěn)定工作效率,低耗能等特點(diǎn)。
可利用時(shí)間精準(zhǔn)控制薄膜厚度,達(dá)到設(shè)計(jì)工藝要求,節(jié)省晶控,光控環(huán)節(jié),為客戶(hù)省去大量的膜厚儀耗材;可生產(chǎn)高折射率氮化薄膜,提高薄膜硬度性能;低溫成膜,可應(yīng)對(duì)各種用途;自動(dòng)調(diào)節(jié)氣體流量專(zhuān)利裝置,保持穩(wěn)定的靶電壓,保證成膜品質(zhì);可選“校正板外部調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)”。
濺射沉積系統(tǒng)在側(cè)壁上裝有多個(gè)圓柱形靶材,以提高沉積速率和多層涂層,該系統(tǒng)配備有直流脈沖或射頻功率圓形陰極,垂直安裝的基板和圓柱形陰極可最大程度地減少涂層過(guò)程中的顆粒污染。
AR 膜(基材玻璃透過(guò)率>91.5%):
■ 420-680nm波段,單面平均透過(guò)率>95%,反射率小于0.5(平均值)% ;
■ 雙面平均透過(guò)率>98%,反射率小于0.5(平均值)%;
AS/AF膜測(cè)試標(biāo)準(zhǔn):
■ 初始接觸角范圍為 115±5°;
■ 鋼絲絨耐摩擦測(cè)試標(biāo)準(zhǔn):用 0000#鋼絲絨,面積為 10*10mm,行程 40 次/分,負(fù)載1Kg,5000 次往返摩擦后,接觸角大于 100°;
■ 橡皮擦測(cè)試標(biāo)準(zhǔn): 直徑 6mm 橡皮擦,行程 25 次/分,負(fù)載1Kg, 2500 次往返摩擦后,接觸角大于 100°;
備注:測(cè)試樣片玻璃需為經(jīng)過(guò)精密拋光過(guò)的觸摸屏蓋板專(zhuān)用玻璃,表面光潔。
優(yōu)勢(shì):
?出色的均勻性
?可實(shí)現(xiàn)不同的材料或提高產(chǎn)量
?集成式等離子體源,可提高涂層質(zhì)量并進(jìn)行基板預(yù)清潔
?快速更換不同尺寸基板的工具
?高目標(biāo)利用率,不影響涂層規(guī)格
?簡(jiǎn)單的目標(biāo)交換和易于訪問(wèn)的系統(tǒng)維護(hù)