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HCAR系列

車(chē)載鍍AR+AF

qipei AR + AF plating
真空應(yīng)用解決方案提供商
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Coating equipment of vehicle mounted display screen 車(chē)載顯示屏鍍膜設(shè)備

      旋轉(zhuǎn)陰極裝置與行內(nèi)普通平面靶裝置相比靶材使用周期與利用效率顯著提高;可客制化的基板工件架結(jié)構(gòu)定制,給客戶(hù)產(chǎn)品擺放達(dá)到最大的利用空間;全自動(dòng)一體的提拉升降的轉(zhuǎn)架裝置,大幅度減少機(jī)器開(kāi)關(guān)門(mén)時(shí)間,大大提高了生產(chǎn)效率與工藝穩(wěn)定性;匯成專(zhuān)利離子源具有工作范圍廣能量均衡,高離化率,超穩(wěn)定工作效率,低耗能等特點(diǎn)。

      可利用時(shí)間精準(zhǔn)控制薄膜厚度,達(dá)到設(shè)計(jì)工藝要求,節(jié)省晶控,光控環(huán)節(jié),為客戶(hù)省去大量的膜厚儀耗材;可生產(chǎn)高折射率氮化薄膜,提高薄膜硬度性能;低溫成膜,可應(yīng)對(duì)各種用途;自動(dòng)調(diào)節(jié)氣體流量專(zhuān)利裝置,保持穩(wěn)定的靶電壓,保證成膜品質(zhì);可選“校正板外部調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)”。

     濺射沉積系統(tǒng)在側(cè)壁上裝有多個(gè)圓柱形靶材,以提高沉積速率和多層涂層,該系統(tǒng)配備有直流脈沖或射頻功率圓形陰極,垂直安裝的基板和圓柱形陰極可最大程度地減少涂層過(guò)程中的顆粒污染。

AR 膜(基材玻璃透過(guò)率>91.5%):
■  420-680nm波段,單面平均透過(guò)率>95%,反射率小于0.5(平均值)% ;
■  雙面平均透過(guò)率>98%,反射率小于0.5(平均值)%;

AS/AF膜測(cè)試標(biāo)準(zhǔn):
■   初始接觸角范圍為 115±5°;
■   鋼絲絨耐摩擦測(cè)試標(biāo)準(zhǔn):用 0000#鋼絲絨,面積為 10*10mm,行程 40 次/分,負(fù)載1Kg,5000 次往返摩擦后,接觸角大于 100°;
■   橡皮擦測(cè)試標(biāo)準(zhǔn): 直徑 6mm 橡皮擦,行程 25 次/分,負(fù)載1Kg, 2500 次往返摩擦后,接觸角大于 100°;
備注:測(cè)試樣片玻璃需為經(jīng)過(guò)精密拋光過(guò)的觸摸屏蓋板專(zhuān)用玻璃,表面光潔。


優(yōu)勢(shì):

?出色的均勻性
?可實(shí)現(xiàn)不同的材料或提高產(chǎn)量
?集成式等離子體源,可提高涂層質(zhì)量并進(jìn)行基板預(yù)清潔
?快速更換不同尺寸基板的工具
?高目標(biāo)利用率,不影響涂層規(guī)格
?簡(jiǎn)單的目標(biāo)交換和易于訪問(wèn)的系統(tǒng)維護(hù)

Product Advantage.

產(chǎn)品特點(diǎn)
HCAR系列車(chē)載顯示屏鍍膜設(shè)備機(jī)包括以下關(guān)鍵功能:
  • 緊湊

    占地面積小,易于集成到工廠

  • 專(zhuān)利技術(shù)

    匯成自主研發(fā)離子源

  • 精準(zhǔn)

    精確監(jiān)控膜厚

  • 低溫技術(shù)

    小于70℃低溫狀態(tài)成膜

  • 自動(dòng)化

    自動(dòng)調(diào)節(jié)氣體流量

  • 簡(jiǎn)單

    易于操作和維護(hù)

型號(hào) HCSO-2100
鍍膜區(qū)域 Φ2100x H1200mm
結(jié)構(gòu) 立式單門(mén),整體箱式布局
適用波長(zhǎng) 380nm~780nm
轉(zhuǎn)速 0~25RPM(可變)
成膜室抽速 4.0×10-3Pa≤30min
極限真空度 5.0×10-4Pa
濺射靶材 Nb,Si,Cr,Al,In ...
夾具系統(tǒng) 底部中心旋轉(zhuǎn)公轉(zhuǎn)夾具桶
排氣系統(tǒng) 低真空泵組 + 高真空泵組 + 低溫泵
真空控制系統(tǒng) 真空控制器、皮寧及皮拉尼真空計(jì)
鍍膜系統(tǒng) DC+MF磁控濺射源+等離子體源
充氣系統(tǒng) MFC+speedflo壓強(qiáng)控制儀
膜厚控制儀 晶控儀
控制系統(tǒng) 工控電腦+觸摸屏
光學(xué)薄膜應(yīng)用 AR、硬質(zhì)AR膜、硬質(zhì)膜、裝飾膜、HR膜等
注:可客制化

Application cases.

應(yīng)用案例
型號(hào) HCEB-2700
尺寸(mm) Φ2700 x H1850
結(jié)構(gòu) 立式前開(kāi)門(mén),SUS304不銹鋼
適用波長(zhǎng) 380nm~780nm
轉(zhuǎn)速 0~30RPM(可變 variable)
抽速 大氣壓至2.0×10-3Pa≤30min
極限真空度 8.0×10-5Pa
膜料 Tio2,Ti3o5,H4,Zro2,Zns,Al2o3,Mgf2,Sio2,Au,Ag,Cu,Al,Ti,In,Sn...
夾具系統(tǒng) 中心上旋轉(zhuǎn)傘架,單體或分體
加熱系統(tǒng) 鎧裝加熱器,穩(wěn)定250℃
排氣系統(tǒng) 低真空泵組 + 高真空泵組 +  + Polycold
真空控制系統(tǒng) 真空控制器、皮寧及皮拉尼真空計(jì)
鍍膜系統(tǒng) 10KW電源,E型電子槍(270°偏轉(zhuǎn)),穴型、腰型或環(huán)形坩堝,阻抗式蒸發(fā)源,可選射頻/考夫曼型/霍爾型離子源
充氣系統(tǒng) MFC或APC自動(dòng)壓強(qiáng)控制儀
膜厚控制儀 晶控或光控
控制系統(tǒng) 工控電腦 + PLC + 觸摸屏
光學(xué)薄膜應(yīng)用 AR、UV/IR截止濾光片、AF、硬質(zhì)膜、裝飾膜、ITO膜 、帶通濾光片、HR膜等
注:可客制化

Application cases.

應(yīng)用案例
型號(hào) HCAF-1619
尺寸 Φ1600x H1900mm
結(jié)構(gòu) 立式單門(mén),整體箱式布局
抽速 大氣壓至2.0×10-3Pa≤30min
極限真空度 8.0×10-5Pa
夾具系統(tǒng) 底部中心旋轉(zhuǎn)行星式公自傳夾具轉(zhuǎn)軸
排氣系統(tǒng) 低真空泵組 + 高真空泵組 +  Polycold
真空控制系統(tǒng) 真空控制器、皮寧及皮拉尼真空計(jì)
鍍膜系統(tǒng) DC或MF磁控濺射源+ 等離子體源 + 阻抗式蒸發(fā)源
充氣系統(tǒng) MFC
膜厚控制系統(tǒng) 晶控
控制系統(tǒng) PLC+觸摸屏
光學(xué)薄膜應(yīng)用 AF、硬質(zhì)膜、簡(jiǎn)單裝飾膜、HR膜等
注:可客制化

Application cases.

應(yīng)用案例
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電話(huà):13316689188

郵箱:office@hcvac.com

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