超厚金屬涂層
超厚金屬涂層
超厚多元合金涂層和超厚氮化物涂層，連續(xù)沉積多元合金涂層厚度可達120um以上，實現(xiàn)單靶三維旋轉≥6.5um/h，連續(xù)沉積氮化物涂層25um以上，實現(xiàn)單靶三維旋轉≥3um/h，提高了工件表面的硬度，為航空發(fā)動機葉片修復、汽輪機葉片邊緣的沖蝕問題提供了新的解決方案。
功能涂層設備應用
超厚多元合金涂層和超厚氮化物涂層，連續(xù)沉積多元合金涂層厚度可達120um以上，實現(xiàn)單靶三維旋轉≥6.5um/h，連續(xù)沉積氮化物涂層25um以上，實現(xiàn)單靶三維旋轉≥3um/h，提高了工件表面的硬度，為航空發(fā)動機葉片修復、汽輪機葉片邊緣的沖蝕問題提供了新的解決方案。
DLC涂層具有較高的硬度、優(yōu)異的減摩耐磨性能、高熱導率、低介 電常數(shù)、寬帶隙、良好的光學透過性以及優(yōu)異的化學惰性和生物兼容性 等，在航空航天、機械、電子、光學、裝飾外觀保護、生物醫(yī)學等領域 有著廣闊的應用前景。DLC涂層適合于磨損和滑動的環(huán)境下，在沒有任 何潤滑介質的條件下，可以降低摩擦損耗，可以用于汽車發(fā)動機零部件（燃油噴射系統(tǒng)、動力傳動系統(tǒng)）、軸承、滾輪、紡織機械、航空航天 等眾多領域。
HCVAC利用UBM技術開發(fā)一種無氫非晶碳膜（a-c） 。是一種低摩擦、高耐磨、固體潤滑涂 層。該涂層是一種具有石墨微晶結構的導電碳基涂 層。與標準DLC型涂層相比，GLC涂層具有更好 的抗摩擦磨損性能，適用于多種應用場合。
HCVAC開發(fā)出具有自主知識產權的， 適用于制備ta- c涂層電弧陰極模塊，該設備可以沉積硬度超過40Gpa的超硬ta-c涂層，可在HCSH系列標準設備上沉積ta-c涂層。
HCVAC-PVD
