HCVAC開發(fā)出具有自主知識產(chǎn)權(quán)的， 適用于制備ta-c涂層電弧陰極模塊，該設(shè)備可以沉積硬度超過40Gpa的超硬ta-c涂層，可在HCSH系列標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備上沉積ta-c涂層
功能涂層設(shè)備應(yīng)用
HCVAC開發(fā)出具有自主知識產(chǎn)權(quán)的， 適用于制備ta-c涂層電弧陰極模塊，該設(shè)備可以沉積硬度超過40Gpa的超硬ta-c涂層，可在HCSH系列標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備上沉積ta-c涂層
HCVAC-PVD
