超厚多元合金涂層和超厚氮化物涂層,連續(xù)沉積多元合金涂層厚度可達120um以上,實現(xiàn)單靶三維旋轉(zhuǎn)≥6.5um/h,連續(xù)沉積氮化物涂層25um以上,實現(xiàn)單靶三維旋轉(zhuǎn)≥3um/h,提高了工件表面的硬度,為航空發(fā)動機葉片修復、汽輪機葉片邊緣的沖蝕問題提供了新的解決方案。
功能涂層設備應用
超厚多元合金涂層和超厚氮化物涂層,連續(xù)沉積多元合金涂層厚度可達120um以上,實現(xiàn)單靶三維旋轉(zhuǎn)≥6.5um/h,連續(xù)沉積氮化物涂層25um以上,實現(xiàn)單靶三維旋轉(zhuǎn)≥3um/h,提高了工件表面的硬度,為航空發(fā)動機葉片修復、汽輪機葉片邊緣的沖蝕問題提供了新的解決方案。