ZnO氧化鋅基薄膜的研究進(jìn)展迅速，材料性能已可與ITO相比擬，結(jié)構(gòu)為六方纖鋅礦型。其中鋁摻雜的氧化鋅薄膜AZO研究較為廣泛，它的突出優(yōu)勢(shì)是原料易得，制造成本低廉，無(wú)毒，易于實(shí)現(xiàn)摻雜，且在等離子體中穩(wěn)定性好，很快成為新型的光伏TCO產(chǎn)品。
氧化鋅（ZnO）材料資源豐富，且作為透明電極的性能優(yōu)越，因此作為使用稀有金屬的平板用ITO（摻Sn氧化銦）膜的替代材料受到廣泛的關(guān)注。另外，氧化鋅在透明性和表面平坦性方面具有比ITO更為優(yōu)越的特性，可望拓展新的應(yīng)用，本公司采用濺射法，可支持GZO（摻Ga ZnO）和AZO（摻Al ZnO）的成膜。
