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7° tilted vertical inline coating system 斜7°立式連續(xù)鍍膜生產(chǎn)線

該系統(tǒng)可用于光學(xué)薄膜疊層以及要求低顆粒缺陷的金屬濺射應(yīng)用。通過可旋轉(zhuǎn)靶材技術(shù)實(shí)現(xiàn)高靶材利用率，完全無接觸的磁懸浮工件架傳輸系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)最小的顆粒缺陷，采用折返室的設(shè)計(jì)理念將占地面積降到最低，將基板返回真空室。

傾斜7度角進(jìn)行鍍膜與工件架傳送，因無挾持可實(shí)現(xiàn)基板全覆蓋鍍膜。

工件架頂部磁導(dǎo)向,底部摩擦穩(wěn)定傳送，磁流體密封。

縮短工件架間距，增加靶材鍍膜利用效率。