Large area transparent conductive film glass production line 太陽(yáng)能光伏導(dǎo)電膜生產(chǎn)線
本設(shè)備廣泛運(yùn)用在太陽(yáng)能電池上，透明導(dǎo)電膜作為減反射層和透明電極使用，可以提高太陽(yáng)能的轉(zhuǎn)換效率，降低成本，無(wú)毒環(huán)保，膜層穩(wěn)定，同時(shí)可以消除立式生產(chǎn)線無(wú)法大規(guī)模生產(chǎn)的弊端，可以大大提高生產(chǎn)量。
設(shè)備采用大面積濺射技術(shù)，鍍膜機(jī)寬度大，可以同時(shí)處理很多基片，特別適用于極低成本、高生產(chǎn)率應(yīng)用，該系統(tǒng)也適用于其他小尺寸和非常薄的基片。
由于采用模塊化設(shè)計(jì)，鍍膜線可以配備旋轉(zhuǎn)磁控管，以濺射沉積高性能透明導(dǎo)電氧化物膜層或者多種其他材料，例如金屬和金屬氧化物，可以在真空狀態(tài)下或在基片進(jìn)入真空狀態(tài)之前對(duì)基片進(jìn)行預(yù)處理，比如對(duì)基片進(jìn)行清洗或蝕刻。
優(yōu)勢(shì)：
?采用閉環(huán)控制器的高反應(yīng)濺射率
?出色的氣體分離技術(shù)
?靈活配置以滿足特定的生產(chǎn)需求
?3、5或7倍微調(diào)氣體分布以提高涂層均勻性
?優(yōu)化的磁性配置，具有出色的均勻性和利用率
?兼容工業(yè)機(jī)器人的自動(dòng)裝卸
