LARGE ELECTRON BEAM OPTICAL COATING EQUIPMENT 大型電子束蒸發(fā)光學(xué)鍍膜機
配備電子槍、穴型、腰型或環(huán)形坩堝，阻抗式蒸發(fā)源;配置光學(xué)膜厚控制儀或石英晶體膜厚控制儀，可實現(xiàn)成膜速度和鍍膜過程的自動控制;可選射頻RF/考夫曼型/霍爾型離子源。
該系列的開發(fā)是為了滿足面向大規(guī)模生產(chǎn)的市場需求，設(shè)備經(jīng)過生產(chǎn)驗證，高生產(chǎn)率，最低的擁有成本大批量光學(xué)元件成本優(yōu)化生產(chǎn)。可制備AR、UV/IR截止濾光片、AF、硬質(zhì)膜、裝飾膜、ITO膜 、帶通濾光片、HR膜等。
AR 膜（基材玻璃透過率＞91.5%）：
■ 420-680nm波段，單面平均透過率＞95%，反射率小于0.5（平均值）% ；
■ 雙面平均透過率＞98%，反射率小于0.5（平均值）%；
AS/AF膜測試標(biāo)準(zhǔn)：
■ 初始接觸角范圍為 115±5°；
■ 鋼絲絨耐摩擦測試標(biāo)準(zhǔn)：用 0000#鋼絲絨，面積為 10*10mm,行程 40 次/分，負載1Kg，5000 次往返摩擦后，接觸角大于 100°；
■ 橡皮擦測試標(biāo)準(zhǔn)： 直徑 6mm 橡皮擦，行程 25 次/分，負載1Kg， 2500 次往返摩擦后，接觸角大于 100°；
備注：測試樣片玻璃需為經(jīng)過精密拋光過的觸摸屏蓋板專用玻璃，表面光潔。
優(yōu)勢：
?蒸鍍AR / AF涂層
?生產(chǎn)能力更強
?生產(chǎn)成本更低
?全自動化功能以及完整的數(shù)據(jù)記錄功能
?光學(xué)監(jiān)控提高過程的可重復(fù)性
