Flexible electronic roll to roll vacuum coating equipment 柔性電子卷繞真空鍍膜設(shè)備
HCFLC系列卷繞鍍膜設(shè)備為各種各樣的柔性和可穿戴電子產(chǎn)品，傳感器，RFID標(biāo)簽，智能玻璃，智能包裝等提供了一種非常有競(jìng)爭(zhēng)力和成本效益高的薄膜涂層技術(shù)。高質(zhì)量低電阻率銅或TCO層和結(jié)構(gòu)的應(yīng)用，在滿足當(dāng)今和未來市場(chǎng)需求的同時(shí)，成功地彌合了生產(chǎn)率和多功能性之間的差距。
HCFLC系列是生產(chǎn)和研發(fā)的最佳選擇。幾乎無限的可能性，在安排多達(dá)六組可旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)器和機(jī)器的能力，應(yīng)用大量的現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量傳感器，使機(jī)器能夠在生產(chǎn)環(huán)境中生產(chǎn)，同時(shí)又是非常靈活和靈活的，當(dāng)作為一個(gè)研發(fā)機(jī)器使用。
這也使得該機(jī)成為諸如ITO膜、柔性印刷電路板（FPCB）、LOW-E或智能玻璃等應(yīng)用的首選。可旋轉(zhuǎn)磁控管，最大涂層寬度為2000毫米，可能的襯底輥直徑為500毫米，是高生產(chǎn)率的基礎(chǔ)。此外，相鄰工藝段之間的可選氣體分離允許在一個(gè)過程中沉積各種各樣的金屬和電介質(zhì)層。
除了能夠在非反應(yīng)濺射工藝的同時(shí)運(yùn)行反應(yīng)濺射工藝外，HCFLC系列還可以配備各種原位傳感器，用于連續(xù)、準(zhǔn)確地監(jiān)測(cè)所需的物理層特性，如層電阻率、反射率或透射比。
優(yōu)勢(shì)：
?工藝可選直流和中頻濺射
?氣氛隔離設(shè)備于不同氣氛濺射段之間
?采用自下而上的濺射方式防止掉渣
?閉環(huán)張力控制避免基材刮傷和褶皺
?鍍膜輥溫度在-15～80℃可控
?渦輪分子泵和深冷捕集泵組合的高真空系統(tǒng)
?薄膜性能在線檢測(cè)系統(tǒng)
